超純水設備將心比“芯”
作者:北京水處理工程師發布時間:2021-11-11
受全球產能的影響,芯片短缺已經影響到電子消費業和汽車業。IPC的一項新調查顯示,全球芯片短缺可能會持續很長一段時間,而專業工人的缺乏和成本的上升進一步加劇了芯片短缺的趨勢。然而,80%的芯片制造商表示,很難找到受過正規培訓并能處理半導體制造所需劇毒化合物的工人。這一問題在北美和亞洲更為嚴重,與歐洲相比,這些地區的企業也面臨著不斷上升的勞動力成本。
芯片制造過程非常復雜,其中一個非常重要的步驟就是芯片清洗。超純水起著重要作用。對于剛剛起步的國產芯片來說,清洗用水的純度直接影響成品芯片質量。超純水設備將心比“芯”,確保芯片清洗用水的品質。超純水設備一般由石英砂過濾器、活性炭過濾器、阻垢劑、精密過濾器等組成,預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電脫鹽系統)系統等構成主要設備系統,可連續穩定制備高質量超純水。
反滲透系統利用反滲透原理去除水中溶解的鹽、有機物、膠體和大分子。降低水質中的離子含量。EDI是結合離子交換膜技術和離子電遷移技術的超純水制造技術。它不需要酸堿再生,是一種新的脫鹽方法。超純水設備無需回收化學藥劑即可處理超純水,運行成本低,自動化程度高,連續運行,出水水質穩定,出水電阻率高≥ 15mΩ·cm。超純水處理系統末端凈化器采用精處理混床。設計、制造和生產的半導體級混床離子交換樹脂可將水中離子含量降至ppb級,出水電阻率可達18.2mΩ·cm。這足以確保芯片生產用水的純度。
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